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  •   本机器主要用于半导体材料、金属、非金属工件(如阀板、刚性密封垫、活塞环、宝石制品、玻璃制品等)的平面研磨。也适用于超薄、脆性材料制成工件(如石英晶体)的研磨。

      机器采用双电机驱动,游星轮在上下盘之间做行星运动,工件上下表面同时均匀研磨/抛光。
      机器采用内齿圈升降,内齿圈升降采用点动控制方式操作,使操作者能自由控制齿圈升降高度。
      电机均使用变频器控制,能在有效设置范围内以任意速度工作,停止、加减速过程平稳,无抖动、无冲击。
      上盘装置增加机械的安全装置,在摆片、维修等状态下不会因突然故障而下降,增加了安全性。
      太阳轮可以任意调速,根据客户的要求可以方便的调整游星轮转速,实现盘面的修磨。

    上(下)盘尺寸:

    φ849×φ274×30(mm)    

    工件厚度:

    最大:25(mm)    最小:0.3(mm)

    工件直径:

    最大:φ270(mm)

    下盘转速:

    0~60(rpm)

    游星轮数量:

    游星轮参数:

    英制::Z=150   Dp=12

    上盘压力范围:

    10~180(Kg)

    电源/耗电量:

    3相-380V/9KVA

     气源/耗气量:

    0.5(Mpa)/30(L/min)  

    主机尺寸:

    1500×1500×2780(mm)

    机器重量:

    ~3200(Kg) 

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