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  •   本机器主要适用于硅片、石英晶片、光学晶体、玻璃、宝石、铌酸锂、砷化镓、陶瓷片等薄脆金属或非金属的研磨或抛光。

      机器采用双电机驱动,游星轮在上下盘之间做行星运动,工件上下表面同时均匀研磨 / 抛光。
      机器采用内齿圈升降,内齿圈升降采用点动控制方式操作,使操作者能自由控制齿圈升降高度。
      电机采用变频调速器控制,能在有效设置范围内以任意速度工作,停止、加减速过程平稳,无抖动、无冲击。
      上盘装置增加机械的安全装置,在摆片、维修等状态下不会因突然故障而下降,增加了安全性。
      太阳轮可以单独调速,能灵活调整工艺参数。
     

    项目

    规格

    上(下)盘尺寸

    φ622×φ386×40(mm)

    工件厚度

    最大Max :20(mm)  最小Min:0.1(φ10)(mm)

    工件直径

    最大Max :100(mm)

    下盘转速

    0~60(rpm)

    游星轮数量

    10

    游星轮参数

    公制Metric System :Z=70 Mn=2
    英制British System :Z=66 Dp=12

    电源/耗电量

    3相-380V/6KVA
    3 phase-380V/6KVA

    气源/耗气量

    0.5~0.6(Mpa)/30(L/min)

    主机尺寸

    1500×1000×2430(mm)

    机器重量

    ~1980(Kg)

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