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  •   本机器主要适用于硅片、石英晶片、光学晶体、玻璃、宝石、铌酸锂、砷化镓、陶瓷片等薄脆金属或非金属的研磨或抛光。
     

      1、机器采用三电机驱动,工件上下表面同时均匀研磨 / 抛光,生产效率高。
      2、机器采用内齿圈升降,内齿圈升降采用点动控制方式操作,使操作者能自由控制齿圈升降高度。
      3、下盘不抬升,设置了调节水平的三点支承结构,可对下盘的偏斜进行微调,以提高机器精度。
      4、电机采用变频调速器控制,能在有效设置范围内以任意速度工作。
      5、气动系统采用优质气控元件,上盘、齿圈升降平稳无爬行现象,上盘下降过程中,设置了快降和缓降。
      6、太阳轮、齿圈皆可以单独调速,能灵活调整工艺参数,工艺适应性强。
     

    项目

    YJ-9.6B10L/PE

    YJ-9B5L/PE

    上(下)盘尺寸

    φ622×φ386×40(mm)

    φ638×φ222×40(mm)

    工件厚度

    最大Max :20(mm)

    最大Max : 20(mm)

    工件直径

    最大Max : 100(mm)

    最大Max : 180(mm)

    下盘转速

    0~50(rpm)

    0~50(rpm)

    游星轮数量

    10

    5

    游星轮参数

    英制British System
    :Z=66 Dp=12

    英制British System
    :Z=108 Dp=12

    上盘压力范围

    10~150(Kg)

    10~150(Kg)

    电源/耗电量

    3相-380V/6KVA
    3 phase-380V/6KVA

    3相-380V/6KVA
    3 phase-380V/6KVA

    气源/耗气量

    0.5~0.6(Mpa)/30(L/min)

    0.5~0.6(Mpa)/30(L/min)

    主机尺寸

    1400×970×2340(mm)

    1400×970×2340(mm)

    机器重量

    ~1900(Kg)

    ~1900(Kg)

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