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  •   本机适用于硅片、石英晶片、宝石片、光学水晶、光学玻璃、铌酸锂、陶瓷片、玻璃及其它硬脆材料的双面精密研磨加工。   
     

      机器采用四电机驱动,下盘、上盘、内齿圈和太阳轮分别由电机单独驱动。
      机器整体结构紧凑,运行平稳,有效地缩短各传动轴的长度,增加机器的机械刚度。
      内齿圈、太阳轮同步升降并采用点动操作方式。
      上盘装置增加机械的安全装置,在摆片、维修等状态下不会因突然故障而下降,增加了安全性。
      通过改变内齿圈、太阳轮的速度,调整实现游星轮的正、反转。

    上(下)盘尺寸:

    φ1133×φ385×50(mm)

    工件厚度:

    最大:35(mm)      最小:0.4(mm)

    工件直径:

    最大:φ370(mm)

    下盘转速:

    0~50(rpm)

    游星轮数量:

    游星轮参数:

    Z=142       Mn=3

    上盘压力范围:

    20~500(Kg)

    电源/耗电量:

    3相-380V/18KVA

    气源/耗气量:

    0.5(Mpa)/30(L/min)  

    主机尺寸:

    2100×1500×2780(mm)

    机器重量:

    ~5500(Kg) 

      
                     2-4英寸蓝宝石                                     直径为220DVD母片玻璃                          单晶硅

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