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  •   本机主要适用于硅片、石英晶片、光学晶体、玻璃、宝石、铌酸锂、砷化镓、陶瓷片等薄脆金属或非金属的研磨或抛光。

      机器采用单电机驱动;游星轮在上下盘之间做行星运动,工件上下表面同时均匀研磨/抛光。
      机器采用内齿圈升降,内齿圈升降采用点动控制方式操作,使操作者能自由控制齿圈升降高度。
      电机采用变频调速器控制,能在有效设置范围内以任意速度工作,停止、加减速过程平稳,无抖动、无冲击。
      太阳轮有两档速度调整实现游星轮的正、反转,实现盘面的修研。

    上(下)盘尺寸:
    φ600×φ360×23(30)(mm)    
    工件厚度:
    最大:20(mm)    最小:0.1(φ10)
    工件直径:
    最大::φ100(mm)
    下盘转速:
    0~60(rpm)
    游星轮数量:
    10 
    游星轮参数:
    公制:Z=70   Mn=2     英制::Z=66  Dp=12
    齿圈抬升行程:
    0~25(mm)
    电源/耗电量:
    3相-380V/6KVA
    气源/耗气量:
    0.5~0.6(Mpa)/30(L/min)  
    主机尺寸:
    1500×1000×2200(mm)
    机器重量:
    ~1980(Kg) 

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