湖南宇晶机器股份有限公司
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YJ-22B5L/PA

被加工件最大厚度:40mm
被加工件最大直径:φ470mm
机器重量:约9000kg
本机器主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体及其它半导体材料的双面高精度研磨或抛光,也适用于其它金属、非金属、光学玻璃等硬、脆、薄材料的双面高精度研磨或抛光。
The machine is uniquely designed for double side lapping and polishing a wide variety of surfaces where flatness and ultra precision surface finish is critical. These materials include silicon wafer, GaAs wafer, ceramic wafer, quartz crystal wafer, semiconductor, and other hard and fragile materials.
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产品描述
参数

产品特点产品特点
  • 机器采用四电机驱动,下盘、上盘、内齿圈和太阳轮分别由电机单独驱动;
  • 机器整体结构紧凑,运行平稳,有效地缩短各传动轴的长度,增加机器的机械刚度;
  • 内齿圈、太阳轮同步升降并采用点动操作方式;
  • 上盘装置增加机械的安全装置,在摆片、维修等状态下不会因突然故障而下降,增加了安全性;
  • 通过改变内齿圈、太阳轮的速度,调整实现游星轮的正、反转。
  • 项目
    规格
    项目
    规格
    YJ-22B5LA
    YJ-22B5PA
    上下盘(外径x内径x厚度)(mm)
    φ1458xφ498x50
    上下盘(外径x内径x厚度)(mm)
    φ1458xφ498x50
    游星轮参数(模数M、齿数Z)
    M=3,Z=184
    游星轮参数(模数M、齿数Z)
    M=3,Z=184
    最大工件直径(mm)
    φ470
    最大工件直径(mm)
    φ470
    工件厚度(mm)
    0.6~40
    工件厚度(mm)
    0.6~40
    安装游星轮个数
    5
    安装游星轮个数
    5
    下盘转速(RPM)
    0-50
    下盘转速(RPM)
    0-50
    上盘转速(RPM)
    0-40
    上盘转速(RPM)
    0-40
    内齿圈转速(RPM)
    0-25
    内齿圈转速(RPM)
    0-25
    太阳轮转速(RPM)
    0-40
    太阳轮转速(RPM)
    0-40
    齿圈抬升行程(mm)
    0-40
    齿圈抬升行程(mm)
    0-40
    加压范围(Kg)
    20~780
    加压范围(Kg)
    20~780
    上盘提升气缸行程(mm)
    0-450
    上盘提升气缸行程(mm)
    0-450
    下盘电机
    15kw 1450rpm
    下盘电机
    15kw 1450rpm
    上盘电机
    11kw 1450rpm
    上盘电机
    11kw 1450rpm
    内齿圈电机
    4kw 1450rpm
    内齿圈电机
    4kw 1450rpm
    太阳轮电机
    2.2kw 1450rpm
    太阳轮电机
    2.2kw 1450rpm
    升降电机
    750W
    升降电机
    750W
    砂泵电机
    250W
    砂泵电机
    250W
    装机容量(KVA)
    约34KVA
    装机容量(KVA)
    约34KVA
    外形尺寸(长X宽X高)(mm)
    2950x2000x2950
    外形尺寸(长X宽X高)(mm)
    2950x2000x2950
    设备质量(kg)
    约9000
    设备质量(kg)
    约9000
    设备每平方米重量
    1550kg/㎡
    设备每平方米重量
    1550kg/㎡
    设备要求地面承重(kg/㎡)
    1705kg/㎡
    设备要求地面承重(kg/㎡)
    1705kg/㎡

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